〔特集〕半導体　半導体関連の日本株　技術が光る１１銘柄　ＳＣＲＥＥＮホールディングス
エコノミスト　第９８巻　第５号　通巻４６３６号　2020.2.4

この記事の情報
掲載誌	エコノミスト　第９８巻　第５号　通巻４６３６号（2020.2.4）
ページ数	1ページ　（全475字）
形式	PDFファイル形式　（250kb）
雑誌掲載位置	７１頁目

　◇ウエハー洗浄装置で世界一　最新製品は生産性が２倍に　半導体材料のウエハーを洗浄する装置で世界シェアのトップを独走する。　洗浄装置には、ウエハーを１枚ずつ洗浄する「枚葉式」と20〜50枚を一度に洗う「バッチ式」の２種類がある。ウエハーのプロセス処理の高精度化が進む中、処理能力の向上が目覚ましい枚葉式に移行しつつある。　主力製品の枚葉式洗浄装置「ＳＵ─３２００」は12の洗浄槽を持ち、最大で毎時８０…