〔特集〕半導体　半導体関連の日本株　技術が光る１１銘柄　ホロン　微小な線幅を計測可能な電子ビームの検査装置成長
エコノミスト　第９８巻　第５号　通巻４６３６号　2020.2.4

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掲載誌	エコノミスト　第９８巻　第５号　通巻４６３６号（2020.2.4）
ページ数	1ページ　（全476字）
形式	PDFファイル形式　（247kb）
雑誌掲載位置	７０頁目

　フォトマスクと呼ばれるガラス基板上に描いた電子回路の微小な線幅を、電子ビームで計測する検査装置が急成長し、業績も拡大傾向にある。微細化が進み、従来の光学式の測定装置では線幅を計測できなくなり、電子ビームを使った測定装置への置き換えが進んでいる。　最新機「ＺＸ（ジーテン）」は微細化で落ちる歩留まりを最小限に抑える特性が顧客に高い評価を得ているもよう。１台当たりの金額などは非公表だが、数億円単位と推…