〔特集〕半導体　半導体関連の日本株　技術が光る１１銘柄　ＡＧＣ　ＥＵＶ露光用部材に強み　５Ｇ向けガラスアンテナも
エコノミスト　第９８巻　第５号　通巻４６３６号　2020.2.4

この記事の情報
掲載誌	エコノミスト　第９８巻　第５号　通巻４６３６号（2020.2.4）
ページ数	1ページ　（全486字）
形式	PDFファイル形式　（247kb）
雑誌掲載位置	７０頁目

　旧社名は旭硝子。世界トップ級のガラスメーカーだが、ＥＵＶ露光用の半導体部材「フォトマスクブランクス」でも強みを持ち、生産能力を増強している。　フォトマスクブランクスはガラス基板の表面に薄膜を積層したもので、回路パターンを半導体ウエハーに転写する「フォトマスク」の原版となる。ＥＵＶ露光用の研究は２００３年から開始。ＥＵＶで用いられる光源の波長は13・５ナノメートルで従来の10分の１以下のため、ブラ…