Cover Story Part3〜Part3 Siフォトニクスへの展開
日経マイクロデバイス 第288号 2009.6.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第288号(2009.6.1) |
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ページ数 | 6ページ (全5675字) |
形式 | PDFファイル形式 (1426kb) |
雑誌掲載位置 | 23〜28ページ目 |
光配線を構成する受発光デバイスや光導波路を,CMOSプロセスや実装技術を使ってSi基板に集積する。これにより,光配線モジュールの小型化や低コスト化,低電力化を実現する。“Siフォトニクス”と呼ぶこうした技術の開発が,2010年代半ばの実用化に向けて急ピッチで進んでいる。ここ2〜3年で,数十Gビット/秒のデータ伝送速度に対応する受光デバイスや変調器を,Si基板に形成できるようになってきた。2010年…
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