Cover Story とびら〜TSVが本流となる条件 3次元積層技術の普及シナリオ
日経マイクロデバイス 第286号 2009.4.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第286号(2009.4.1) |
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ページ数 | 1ページ (全1237字) |
形式 | PDFファイル形式 (284kb) |
雑誌掲載位置 | 17ページ目 |
複数のSiチップを積層させてデバイスを飛躍的に高性能化・小型化するTSV(Si貫通ビア)技術。この実用化が2009〜2010年に相次ぐ。既にCMOSイメージ・センサーの小型化のために量産適用されている。今後,高速なDRAMやSoC(system on a chip),高性能プロセサへと応用範囲を広げる。さらに,出荷数量が多い汎用DRAMやNAND型フラッシュ・メモリーにまでその範囲が広がる可能性が…
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