Inside LSI〜非プレーナFETで微細化を継続
日経マイクロデバイス 第284号 2009.2.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第284号(2009.2.1) |
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ページ数 | 2ページ (全3383字) |
形式 | PDFファイル形式 (302kb) |
雑誌掲載位置 | 48〜49ページ目 |
米Intel Corp.は32nm世代のCMOSの開発を完了させた。2009年第4四半期から量産を開始する。2年おきの微細化という同社のロードマップを今回も堅持したことになる。同社は,技術障壁が格段に高まるとの指摘が多い22nm世代以降への微細化の見通しを付けているのか。CMOSプロセス技術の開発を主導するMark T. Bohr氏に聞いた。米Intel Corp. Senior Fellow,D…
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