Ｉｎｓｉｄｅ ＬＳＩ〜プレーナＦＥＴは２２ｎｍで終焉へ非プレーナ型の時代が到来
日経マイクロデバイス 第284号 2009.2.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第284号（2009.2.1） |
|---|---|
| ページ数 | 5ページ （全6037字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （604kb） |
| 雑誌掲載位置 | 43〜47ページ目 |
過去３０年以上にわたってＬＳＩを支えてきたプレーナ型ＭＯＳ ＦＥＴ（プレーナＦＥＴ）が，いよいよ終焉を迎える。早ければ，２０１１年に量産が始まる２２ｎｍ世代から，チャネルを立体化したフィンＦＥＴなどの非プレーナＦＥＴの出番となる。プレーナＦＥＴを２２ｎｍ世代へ延命できたとしても，２０１３年に量産が始まる１６ｎｍ世代からは非プレーナＦＥＴに移行する。２００８年１２月の「２００８ ＩＥＥＥ Ｉｎｔｅｒ…
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