Ｉｎｓｉｄｅ ＭＥＭＳ〜５／６軸のモーション・センサー独自ＭＥＭＳ構造で１チップ化
日経マイクロデバイス 第284号 2009.2.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第284号（2009.2.1） |
|---|---|
| ページ数 | 6ページ （全5866字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （635kb） |
| 雑誌掲載位置 | 63〜68ページ目 |
３軸加速度と３軸角速度の６軸を１チップで検出できるＭＥＭＳセンサーを米国のベンチャ企業が開発した。このセンサーは，一つの重りだけで加速度と角速度を検知できるためチップ面積を縮小して低コスト化しやすい。まずは５軸品（３軸加速度と２軸角速度）を２００９年第４四半期〜２０１０年第１四半期に製品化する。自動車の横滑り防止用のＥＳＣ（ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ ｓｔａｂｉｌｉｔｙ ｃｏｎｔｒｏｌ）システムで使われ…
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