Report[MEMS]〜RF MEMSの研究成果大手がIEDMで相次ぎ発表
日経マイクロデバイス 第272号 2008.2.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第272号(2008.2.1) |
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ページ数 | 2ページ (全1788字) |
形式 | PDFファイル形式 (330kb) |
雑誌掲載位置 | 106〜107ページ目 |
半導体関連の国際学会「2007 IEDM(IEEE International Electron Devices Meeting)でMEMSに関する発表が相次いだ(図1)。これまでのIEDMでは,MEMS関連は“キワモノ”技術とも言われる「Emerging Technology」として発表されてきた注1)。今回は,大手企業が実用化を意識して発表するようになっている。なかでもRF(無線周波)関連で…
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