Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜液浸露光に対応して機能を強化
日経マイクロデバイス 第270号 2007.12.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第270号（2007.12.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全474字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （543kb） |
| 雑誌掲載位置 | 152ページ目 |
液浸露光用の積層レジストが，Ｓｉウエーハのエッジ部まで均一に欠陥なく塗布されているか否かを検査できる装置（図６）。この検査後に走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）によるミクロ検査が必要な場合を想定して，角度や断面座標などの欠陥位置情報をデータ出力できるようにしている。こうしたエッジ部の情報を詳細に調べる必要性が高まっていることから，エッジ部の検査領域を任意の数に分割して検査したり，任意の場所だけを検査でき…
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