Ｒｅｐｏｒｔ［ＭＥＭＳ］〜ＳｉＴｉｍｅが次世代Ｓｉ発振器を表明ＣＭＯＳとＭＥＭＳを１チップ化
日経マイクロデバイス 第269号 2007.11.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第269号（2007.11.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全2150字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （411kb） |
| 雑誌掲載位置 | 110〜111ページ目 |
米ＳｉＴｉｍｅ Ｃｏｒｐ．が，ＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）によるＳｉ発振器と周辺回路の１チップ・デバイスを２００９年に製品化する。こうした計画を９月に開催した記者発表会で明らかにした。試作チップの写真を公開し，実用レベルにあることを示した（図１）。ＭＥＭＳデバイスの成功企業として注目を集める同社が，次の成長に向けてアクセルを踏んだ格好である。量産中…
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