New Products〜約10秒で立体画像表示
日経マイクロデバイス 第268号 2007.10.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第268号(2007.10.1) |
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ページ数 | 1ページ (全544字) |
形式 | PDFファイル形式 (366kb) |
雑誌掲載位置 | 167ページ目 |
試料をステージにセットしてから3次元画像の表示までの時間を約10秒に短縮したカラー・コンフォーカル(共焦点)顕微鏡(図3)。ステージの移動と指定範囲のスキャン,画像処理に要する時間をそれぞれ短くした。研究・開発段階における半導体素子の段差計測やMEMS(micro electro mechanical systems)の形状測定などに使える。生産ラインでの品質管理にも有効である。光源にはキセノン…
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