Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜４００ｍｍ×３００ｍｍの大型試料に対応
日経マイクロデバイス　第268号　2007.10.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第268号（2007.10.1）
ページ数	1ページ　（全521字）
形式	PDFファイル形式　（366kb）
雑誌掲載位置	167ページ目

　測定可能な試料の面積が４００ｍｍ×３００ｍｍと大きい蛍光Ｘ線膜厚計（図４）。測定精度が同等の同社従来品では，測定可能な試料の面積が２２０ｍｍ×１５０ｍｍだった。大型のプリント基板や電子部品の測定だけでなく，小型の試料を複数並べて連続で自動測定するといった使い方を想定する。大面積で薄い試料の測定が中心になるため，測定可能な試料の最大厚みを従来の１５０ｍｍから４５ｍｍに減らしている。金属薄膜の膜厚に…