Ｒｅｐｏｒｔ［ＬＳＩ］〜ナノインプリント技術に再び脚光国内外のＬＳＩメーカーが相次ぎ検討開始
日経マイクロデバイス　第267号　2007.9.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第267号（2007.9.1）
ページ数	1ページ　（全1206字）
形式	PDFファイル形式　（224kb）
雑誌掲載位置	90ページ目

　「最近になって急に，ＬＳＩメーカーから原版の引き合いが増えた。以前と比べて興味の程度が変わっている」（ＨＯＹＡ　Ｒ＆Ｄセンター　センター長の流川治氏）。露光装置を使わずに，原版（モールド）を基板に押し当てて微細加工を実現するナノインプリント技術。２００４年ごろに米Ｍｏｔｏｒｏｌａ，Ｉｎｃ．などがＬＳＩ向けに検討を進めて話題になった１）。それが今，再び脚光を集めている。　注目を集める理由の一つは，…