Ｒｅｐｏｒｔ［ＭＥＭＳ］〜異分野の融合を加速するＭＥＭＳ技術が続出
日経マイクロデバイス 第267号 2007.9.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第267号（2007.9.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1964字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （384kb） |
| 雑誌掲載位置 | 86ページ目 |
半導体とバイオなど，異分野をＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）技術で融合する。このようなＭＥＭＳによる“ブリッジ技術”の提案が，７月に開催された「第１８回マイクロマシン／ＭＥＭＳ展」で相次いだ。ＭＥＭＳは，機械，化学，光学，バイオなど多様な分野を１チップ上に融合し，電子回路とブリッジする。そのために，ＬＳＩの加工技術に，ＭＥＭＳ独自の加工技術を組み合わせ…
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