Ｒｅｐｏｒｔ［ＬＳＩ］〜４５ｎｍ世代の「ＵｎｉＰｈｉｅｒ」松下が６月から量産開始
日経マイクロデバイス 第266号 2007.8.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第266号（2007.8.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1303字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （222kb） |
| 雑誌掲載位置 | 116ページ目 |
松下電器産業が４５ｎｍ世代のプロセス技術を使う民生機器向けＳｏＣ（ｓｙｓｔｅｍ ｏｎ ａ ｃｈｉｐ）の量産を２００７年６月から始めた。同社は６５ｎｍ世代の民生機器向けＳｏＣを業界の先陣を切って量産しており，４５ｎｍでも業界で初めて量産に踏み切る。４５ｎｍの量産は６５ｎｍと同じく富山県魚津市の３００ｍｍウエーハのラインを使う。６５ｎｍのラインに開口率が１を超える液浸ＡｒＦスキャナなどを取り入れて，…
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