Ｋｅｙ Ｗｏｒｄ キー・ワード〜『ＬｕＡＧ（ルーアグ）』
日経マイクロデバイス 第263号 2007.5.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第263号（2007.5.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全923字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （205kb） |
| 雑誌掲載位置 | 15ページ目 |
ＬＳＩメーカーの３２ｎｍ世代の技術戦略を左右する材料として，ＬｕＡＧ（ｌｕｔｅｔｉｕｍ ａｌｕｍｉｎｕｍ ｇａｒｎｅｔ）が急浮上してきた。ＬｕＡＧを露光装置のレンズ材料として使い，併せて水より屈折率が高い液体（高屈折率液体）を利用すれば，ＡｒＦ液浸露光を３２ｎｍ世代へ延命できる。３２ｎｍ世代の最小寸法を解像するためには，レンズの屈折率を高めて，露光装置の開口数（ＮＡ）を現状の１．３クラスから１．…
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