Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜独Ｓ〓ＳＳ，３００ｍｍ向け専用プローブ・システム
日経マイクロデバイス　第262号　2007.4.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第262号（2007.4.1）
ページ数	1ページ　（全272字）
形式	PDFファイル形式　（288kb）
雑誌掲載位置	103ページ目

　独ＳＵＳＳ　ＭｉｃｒｏＴｅｃ　ＡＧは，ウエーハ・レベルの信頼性テスト向けに新しく開発したシステム「ＰＭ３００ＷＬＲ」を発表した。同製品は，３００ｍｍまでのウエーハに対応した専用プローブ・システムである。これにより，半導体メーカーは被試験デバイスの信頼性結果を迅速に取得できる。同システムによって得られる結果は，設計やプロセス改善のフィードバックに不可欠である。これまではデバイスがパッケージされた後…