Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜三菱電機，ワイヤー放電で１５０ｍｍ角の太陽電池用Ｓｉウエーハを加工
日経マイクロデバイス 第262号 2007.4.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第262号（2007.4.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全335字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （329kb） |
| 雑誌掲載位置 | 98ページ目 |
三菱電機は，太陽電池用Ｓｉ向けのワイヤー放電加工技術を開発し，１５０ｍｍ角の太陽電池用Ｓｉインゴットから実際にウエーハを切り出した。これは「世界で初めて」（同社）という。これまで同社は，１０ｍｍ角の加工結果などを報告している。ワイヤー放電加工は，ワイヤーと研磨砥粒を使って加工する既存の方法に比べて研磨砥粒が不要になるほかに，薄いウエーハを少ない切り代で切り出してＳｉ材料を有効活用できると期待され…
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