Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜気体用マイクロポンプを１８段つなげて圧力を高める
日経マイクロデバイス 第261号 2007.3.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第261号（2007.3.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全319字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （931kb） |
| 雑誌掲載位置 | 97ページ目 |
米Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ ｏｆ ＭｉｃｈｉｇａｎのＣｅｎｔｅｒ ｆｏｒ Ｗｉｒｅｌｅｓｓ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ＭｉｃｒｏＳｙｓｔｅｍｓ（ＷＩＭＳ）は，気体用マイクロポンプを直列に１８段接続したＭＥＭＳデバイスを試作し，その概要を「ＭＥＭＳ２００７」で発表した（１月２４日のセッション９）。気体用マイクロポンプは，環境モニターや生体情報モニターなどの幅広い応用が期待されている。今回，複数のマイクロポ…
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