Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜飛行するＭＥＭＳ昆虫と半導体チップを接続へ
日経マイクロデバイス 第261号 2007.3.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第261号（2007.3.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全501字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （931kb） |
| 雑誌掲載位置 | 96〜97ページ目 |
米Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ ｏｆ Ｗａｓｈｉｎｇｔｏｎは，昆虫と半導体チップを接続するという基本概念に基づくＭＥＭＳデバイスの開発を始め，その最初の成果を「ＭＥＭＳ２００７」で披露した（１月２５日のセッション１２）。対象は，体長が３ｍｍ程度と，ＭＥＭＳデバイスに相当する大きさのショウジョウバエである。ショウジョウバエと半導体プロセスとの親和性を確認した結果，成虫は低真空下でも一定時間は生存することが…
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