Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜沖電気とザイキューブＳｉ貫通電極を使った撮像素子向けウエーハ・レベルＣＳＰで協業
日経マイクロデバイス 第261号 2007.3.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第261号（2007.3.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全465字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （931kb） |
| 雑誌掲載位置 | 92ページ目 |
沖電気工業とザイキューブは，Ｓｉ貫通電極を使って形成する撮像素子向けウエーハ・レベルＣＳＰ「ＺｙＣＳＰ」の開発と生産での協業を決めた。ザイキューブがＺｙＣＳＰの技術を，沖電気工業がウエーハ・レベルＣＳＰの技術を提供して，沖電気工業の八王子事業所で２００７年夏にも量産可能な体制を整える。ザイキューブが開発したＺｙＣＳＰは，撮像素子を形成したウエーハに穴を開けて，ウエーハを貫く電極を形成するウエーハ…
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