Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ ＤＲＡＭの試験時間を短縮〜ＤＲＡＭの試験時間を短縮 プローブ・カード「Ｈａｒｍｏｎｙ ＸＰ」
日経マイクロデバイス 第261号 2007.3.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第261号（2007.3.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全559字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （1541kb） |
| 雑誌掲載位置 | 141ページ目 |
ＤＲＡＭの動作周波数などをウエーハ・レベルで試験する際に，ウエーハに接触させる回数を従来比で１／２以下に減らしたプローブ・カード（図１）。試験時間を短縮できる。従来，３００ｍｍウエーハ上のすべてのチップを試験するにはプローブ・カードをウエーハに４回以上接触させていたが，今回の製品は２回の接触で済む。これまでフラッシュ・メモリー向けでは１回接触させて済む製品があったが，ＤＲＡＭ向けでは接触回数が３…
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