Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　処理速度を２倍に向上〜処理速度を２倍に向上　ウエーハ・プローバ「ＵＦ３０００ＥＸ」
日経マイクロデバイス　第260号　2007.2.1

　従来機に比べて処理速度を約２倍に高めたウエーハ・プローバ（図３）。処理速度を高めるために，（１）ウエーハ搬送速度と（２）測定の位置決め速度をそれぞれ向上させた。（１）ウエーハ搬送速度は，可動部を軽量化したり，ウエーハの上下移動と回転を同時に行えるようにしたことで高速化した。（２）測定の位置決め速度は，水平方向の位置を決めるＸ−Ｙステージの駆動方式を変えることで高速化した。機械的な駆動系を不要とす…