Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ ４５ｎｍ世代や３２ｎｍ世代に対応〜４５ｎｍ世代や３２ｎｍ世代に対応 エッチング装置システム「Ｔａｃｔｒａｓ Ｖｉｇｕｓ」
日経マイクロデバイス 第260号 2007.2.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第260号（2007.2.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全550字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （554kb） |
| 雑誌掲載位置 | 125ページ目 |
第１メタル配線のハーフピッチがメモリーで４５ｎｍ以降，ロジックＬＳＩで３２ｎｍ以降の世代の加工ができるプラズマ・エッチング装置システム（図１）。３００ｍｍウエーハに対応する。既存のエッチング装置「Ｔａｃｔｒａｓ」に，新開発のチャンバ「Ｖｉｇｕｓ」を取り付けた。チャンバの構造などを見直したことで，アスペクト比の高いコンタクト・ホールを短時間で加工したり，加工する膜とエッチング・ストップ膜との選択比…
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