Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ ガラスやＣｒＯ／Ｃｒ遮光層への損傷を抑制〜ガラスやＣｒＯ／Ｃｒ遮光層への損傷を抑制 液晶用フォト・マスク修正装置「ＬＲ５１」
日経マイクロデバイス 第260号 2007.2.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第260号（2007.2.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全546字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （554kb） |
| 雑誌掲載位置 | 125ページ目 |
レーザー・リペア時におけるガラス部やＣｒＯ／Ｃｒ遮光層への損傷を抑えた液晶用フォト・マスク修正装置（図２）。従来装置のレーザー・リペアでは，遮光層のエッチングおよびレジスト除去後に，不要なＣｒＯ／Ｃｒ膜欠陥にレーザーを照射し，除去していた。このとき，ガラス部や遮光層が露出した状態でレーザーを照射するため，ガラス部や遮光層が損傷を受けるという問題があった。今回の装置では，遮光層のエッチング前の段階…
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