Tech−On!Ranking[MEMS]〜MEMSディスプレイ ポリマーで走査速度の可変範囲を広く
日経マイクロデバイス 第259号 2007.1.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第259号(2007.1.1) |
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ページ数 | 2ページ (全364字) |
形式 | PDFファイル形式 (238kb) |
雑誌掲載位置 | 126〜127ページ目 |
マイクロプレシジョンは,アクチュエータ部に樹脂を使ったMEMSディスプレイを「第17回マイクロマシン展」に展示した。レーザー光を可動ミラーに当て,ミラーの向きをアクチュエータで変えることでスクリーンへの照射位置を制御する。同社のアクチュエータ技術では,可動部に樹脂を使っているため,走査速度の可変範囲が広いという特徴がある。同社はアクチュエータの支持部に樹脂を使っているため,共振周波数の鋭さ(Q値…
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