Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜三菱の非冷却カメラ 赤外線イメージ・センサーにＭＥＭＳ 低コスト化で普及価格帯狙う
日経マイクロデバイス 第259号 2007.1.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第259号（2007.1.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全410字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （238kb） |
| 雑誌掲載位置 | 126ページ目 |
三菱電機は，赤外イメージを動画像化できる非冷却カメラを「第１７回マイクロマシン展」に出展した。赤外線イメージ・センサーにＭＥＭＳ技術を使っている。吸収した赤外線による温度変化を温度センサーで高精度に検知するための微細構造を２５μｍ角に実現し，これを１チップ上に６４０×４８０個集積した。既に製品化しているセンサーに比べて，チップ面積を縮小していながら，高感度化している。展示したイメージ・センサーは…
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