Tech−On!Ranking[MEMS]〜発電機,メモリー,発振器にMEMSを使う 「AFMによるメモリー・デバイス」
日経マイクロデバイス 第259号 2007.1.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第259号(2007.1.1) |
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ページ数 | 1ページ (全296字) |
形式 | PDFファイル形式 (238kb) |
雑誌掲載位置 | 127ページ目 |
MEMS技術でメモリーを実現する動きがあちこちで見られるようになってきた。この開発動向に関して,『MEMS Technology Forumレポート』が紹介している。同レポートによると,欧州の大手半導体メーカーである伊仏STMicroelectronics社は,原子間力顕微鏡(AFM:atomic force microscope)のプローブ・チップを使ってデータを読み書きするデバイスの研究プロ…
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