Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜ＭＥＭＳ向けの「ＳＵ−８」フィルムが登場 ＭＥＭＳ部の封止に有効
日経マイクロデバイス 第259号 2007.1.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第259号（2007.1.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全370字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （238kb） |
| 雑誌掲載位置 | 127ページ目 |
化薬マイクロケムは，「ＳＵ−８」をフィルム状にした部材を「第１７回マイクロマシン展」に展示した。ウエーハに重ねて圧着装置を通すだけでレジスト材として機能する。ＭＥＭＳ部の構造体として使え，既存の液体状の材料を使う場合に比べて，製造プロセスにおける乾燥とベーキングの手間が省ける，中空構造を形成しやすいなどの特徴がある。今回乾燥とベーキングの手間が省けるのは，フィルム状の材料を使うことによる。また，…
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