Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜人間の耳をまねた音センサー 東京エレクトロンが初めて マイクロマシン展でデモ
日経マイクロデバイス 第259号 2007.1.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第259号（2007.1.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全425字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （238kb） |
| 雑誌掲載位置 | 126ページ目 |
東京エレクトロン（ＴＥＬ）は，人間の聴覚機能をまねたＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）センサーを「第１７回マイクロマシン展」に展示した。人間の蝸牛と呼ばれる器官の機能を模擬したもので，特定の周波数に共振する構造体を数十個並べ，それぞれの共振周波数ごとの音圧レベルを把握できるようにしている。この音センサーの開発は既に済ませていたが，展示会では今回初めての実…
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