Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜洗浄工程に新概念の　“クラスタ”超純水
日経マイクロデバイス　第259号　2007.1.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第259号（2007.1.1）
ページ数	1ページ　（全308字）
形式	PDFファイル形式　（257kb）
雑誌掲載位置	123ページ目

　伯東が，米国ベンチャのＮａｎｏ　Ｇｒｅｅｎ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　Ｉｎｃ．の新しい洗浄用超純水技術を導入した。これは“クラスタ”超純水で，微量（ｐｐｍ〜ｐｐｂ）のＮＨ３ガスを純水に入れて機能水を作る。従来使用されてきた「ＳＣ−１」の代替になる。“クラスタ”がウエーハ上に付着した異物を包み込んで除去する。アンモニア濃度は極めて低く，洗浄時に下地ＳｉＯ２膜はエッチングされない。独Ｉｎｆｉｎｅｏｎ　Ｔ…