Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜±０．０１℃の精度で温度制御できる空調システム 竹中工務店が実用化
日経マイクロデバイス 第259号 2007.1.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第259号（2007.1.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全282字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （257kb） |
| 雑誌掲載位置 | 123ページ目 |
竹中工務店は±０．０１℃の高精度で温度制御を実現する空調システムを開発，出荷した。従来の半導体製造ラインでは±０．０５℃の温度制御が一般的である。さらに今回の空調システムは従来方式と同等のコストで，（１）約３０％の省エネルギー化，（２）約６０％の省スペース化，（３）約４０％の工期短縮を実現している。空調システムからの電磁ノイズ発生の課題も解消した。今後は半導体などの電子デバイス製造施設，研究施設…
記事の購入（ダウンロード）
購入には会員登録が必要です 会員登録はこちら
価格 330円（税込）
他のIDで購入する
G-Search ミッケ！は雑誌を記事ごとに販売するサービスです。
この記事は「1ページ（全282字）」です。ご購入の前に記事の内容と文字数をお確かめください。
（注）特集のトビラ、タイトルページなど、図案が中心のページもございます。
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜洗浄工程に新概念の “クラスタ”超純水
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜東京精密，ウエーハ・エッジの堆積膜を 高温ガスで除去する装置を販売
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＦＰＤ］〜上下左右から立体視できる 日立の液晶ディスプレイ 「たまごっち」で初の製品化を狙う
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＦＰＤ］〜米ＨＰがインクジェット法で 全部位を形成した透明ＴＦＴを披露 「用途は２〜３年で定めたい」
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＦＰＤ］〜パイオニアと千葉大 有機ＴＦＴ駆動のアクティブ・マトリクス型 有機ＥＬパネルを開発
