Ｉｎｔｅｒｖｉｅｗ インタビュー〜液浸装置で先行，次は日本市場を攻略
日経マイクロデバイス 第259号 2007.1.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第259号（2007.1.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全2834字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （225kb） |
| 雑誌掲載位置 | 144〜145ページ目 |
オランダＡＳＭＬ社が液浸露光装置事業で快進撃を続けている。出荷実績が２８台に達し，競合他社を大きく引き離したという。次世代のダブル・パターニング技術やＥＵＶ（ｅｘｔｒｅｍｅ ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ）露光装置も相次いで投入する。その同社が次に力を入れるのが日本市場の開拓である。現在の勢いを保ち，日本市場を攻略できるのか。同社のＰｅｔｅｒ Ｊｅｎｋｉｎｓ氏に聞いた。オランダＡＳＭＬ Ｎｅｔｈｅｒｌａｎ…
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