Ｒｅｐｏｒｔ［ＬＳＩ］〜消費電力を３０％削減しながら　工場内を±０．０１℃で温度制御
日経マイクロデバイス　第259号　2007.1.1

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掲載誌	日経マイクロデバイス　第259号（2007.1.1）
ページ数	2ページ　（全2104字）
形式	PDFファイル形式　（238kb）
雑誌掲載位置	116〜117ページ目

　消費電力を３０％削減しながらクリーン・ルーム内の温度バラつきを±０．０１℃に抑えられる空調技術を竹中工務店が開発した（図１）。精密な温度管理が求められる露光装置ルームや検査装置ルームの空調用途を狙う。消費電力だけではなく，空調装置の寸法を約６０％削減したほか，工期も４０％短縮できるとする。既に複数のＬＳＩメーカーに納入した実績がある。電気ヒーターを不要に　一般にＬＳＩ工場は膨大な電力を消費してお…