Ｒｅｐｏｒｔ［ＭＥＭＳ］〜質量分析器や電子顕微鏡を ＭＥＭＳで据え置きから可搬に
日経マイクロデバイス 第259号 2007.1.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第259号（2007.1.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全2276字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （258kb） |
| 雑誌掲載位置 | 114〜115ページ目 |
２００６年１２月６〜８日に開催された「セミコン・ジャパン２００６」からは，ＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）技術を使って，従来は据え置き型が一般的だった機器を大幅に小型化できる可能性が見て取れた。ＭＥＭＳ技術は，機器を小型化できるばかりか，高付加価値化にも貢献する。うまく適用すると，付加価値を向上させる部分を隠して競争力を長期間にわたって維持することがで…
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