Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　「セミコン・ジャパン２００６」特集〜量産向けにカセット装備
日経マイクロデバイス　第258号　2006.12.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第258号（2006.12.1）
ページ数	1ページ　（全567字）
形式	PDFファイル形式　（500kb）
雑誌掲載位置	200ページ目

　量産に対応したＭＶＤ（ｍｏｌｅｃｕｌａｒ　ｖａｐｏｒ　ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）装置（図１１）。ＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ　ｅｌｅｃｔｒｏ　ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　ｓｙｓｔｅｍｓ）デバイスの構造体の表面改質に有効である。例えば，光学デバイスの反射膜やバイオ・デバイスの流路表面の処理に使える。形成膜の厚さを分子レベルで制御することによって，平坦度を高めるだけではなく，膜に載った液体の表面張力を変えられる。　開…