Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　測定時間を１／２〜１／３に短縮〜測定時間を１／２〜１／３に短縮　蛍光Ｘ線膜厚計「ＳＦＴ９５００」
日経マイクロデバイス　第253号　2006.7.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第253号（2006.7.1）
ページ数	1ページ　（全616字）
形式	PDFファイル形式　（332kb）
雑誌掲載位置	158ページ目

　測定時間を従来の１／２〜１／３に短縮した蛍光Ｘ線膜厚計（図３）。プリント基板の配線などに使われる０．３ｎｍ〜数μｍ厚の金属膜の厚さを測定できる。Ｘ線を照射して薄膜中の金属元素を励起し，その元素が低エネルギー状態に戻る際に放出する蛍光Ｘ線を検出する。今回，測定時間を短縮できたのは，高い精度で膜厚を測定するのに必要な蛍光Ｘ線の累積量を，短時間で得られるためである。膜厚を高精度で測定するには，検出する…