Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　運転コストを１５％削減〜運転コストを１５％削減　化学汚染ガス除去装置「Ｔ−ＧＥＴ　Ｃ」
日経マイクロデバイス　第253号　2006.7.1

　運転コストを従来品に比べて約１５％削減できるクリーン・ルーム向け化学汚染ガス除去装置（図４）。クリーン・ルームでは外気に含まれるアンモニアや硫化物などの汚染ガスがウエーハに悪影響を及ぼし，半導体デバイスの歩留まりや信頼性を低下させてしまう。このため，外気をクリーン・ルームに取り込む際には，純水を含んだフィルタ素材に空気を通し，汚染ガスを純水中に溶け込ませるなどして除去する必要がある。ただ，従来は…