Ｋｅｙ　Ｗｏｒｄ　今月のキー・ワード〜『ＺｎＯ』
日経マイクロデバイス　第252号　2006.6.1

　「開発の進ちょくが最も気になる材料」。大手デバイス・メーカーの技術者がこのように語る材料がある。透明でありながら半導体の特性を持つ酸化亜鉛（ＺｎＯ）である。透明ＴＦＴや白色ＬＥＤ向けで期待高まる　酸化チタン（ＴｉＯ２）や酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）など，「酸化物透明半導体」と呼ばれる同種の材料の中でも，ＺｎＯへの注目度はとりわけ高い。多彩な用途で実用化できる見込みが出てきたためである（図１）。　…