Ｅｍｅｒｇｉｎｇ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ〜インクジェットの液滴を１／１０００に ＬＳＩのチップ内／チップ間配線へ
日経マイクロデバイス 第252号 2006.6.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第252号（2006.6.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全992字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （84kb） |
| 雑誌掲載位置 | 3ページ目 |
インクジェットを使ってデバイスの開発期間やコストを削減する。こうした手法を可能にする技術を，産業技術総合研究所の研究者らが立ち上げたベンチャ企業のＳＩＪテクノロジが事業化した。吐出できる液滴の体積を従来の１／１０００の１ｆｌ（ｆは１０−１５），描画できるパターンの最小線幅を１／１０の３μｍに縮小した（図１）。従来，インクジェットで吐出できる液滴の体積は，研究開発レベルでも最小で１ｐｌ（ｐは１０−…
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