Tech−On!Ranking[LSI]〜SIIナノテクと独Carl Zeiss NTSが戦略提携 FIB−SEM装置を共同開発
日経マイクロデバイス 第251号 2006.5.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第251号(2006.5.1) |
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ページ数 | 1ページ (全305字) |
形式 | PDFファイル形式 (118kb) |
雑誌掲載位置 | 83ページ目 |
エスアイアイ・ナノテクノロジー(SIIナノテク)と独Carl Zeiss NTS GmbHは,戦略的な業務提携を発表した。既にSIIナノテクはCarl Zeiss NTSの電子顕微鏡を日本で販売しているが,今回はその提携関係を拡張する。両社の製品を全世界で相互販売し,互いの製品ラインアップを補完するほか,65nmノード以降の検査・解析に対応したFIB−SEM装置を共同開発し,「2006年秋に市場…
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