Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　重量を６０％削減〜重量を６０％削減
日経マイクロデバイス　第248号　2006.2.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第248号（2006.2.1）
ページ数	1ページ　（全622字）
形式	PDFファイル形式　（361kb）
雑誌掲載位置	104ページ目

　重量を従来比で６０％削減したダイシング向けリング・フレーム（図５）。ウエーハからチップに切り分けるためのダイサーにウエーハを取り付ける際に使う。通常のリング・フレームはステンレス製だが重量が３００ｇと重く，ウエーハ搬送時の作業負担が大きかったりウエーハが破損しやすかったりする問題があった。今回はステンレス製から樹脂製に換えることで１２０ｇに軽量化した。樹脂製のリング・フレームはこれまでにもあった…