Ｒｅｐｏｒｔ［ＭＥＭＳ］〜ＭＥＭＳ使った３軸加速度センサー　「３ｍｍ角，１００円」へ向けて競争激化
日経マイクロデバイス　第246号　2005.12.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第246号（2005.12.1）
ページ数	2ページ　（全2181字）
形式	PDFファイル形式　（264kb）
雑誌掲載位置	166〜167ページ目

　３軸加速度センサーの開発競争が熾烈になってきた（図１）。携帯機器への搭載に向けて，３ｍｍ角の製品や量産価格１５０円の製品が登場しており，多くの携帯電話機メーカーが「搭載したい」と考える「３ｍｍ角以内で高さ１ｍｍ，量産価格１００円」の実現が視野に入ってきた。　各社は，ＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ　ｅｌｅｃｔｒｏ　ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　ｓｙｓｔｅｍｓ）技術を駆使して，小面積化によって小型化すると同時に，１ウ…