Ｒｅｐｏｒｔ［ＦＰＤ］〜液晶パネル基板の新製造技術が登場　「７０型液晶テレビを４０万円に」
日経マイクロデバイス　第246号　2005.12.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第246号（2005.12.1）
ページ数	2ページ　（全2507字）
形式	PDFファイル形式　（314kb）
雑誌掲載位置	160〜161ページ目

　液晶パネル基板の全く新しい製造技術が登場した。ＴＦＴに代わるスイッチング素子などを，通常のウエーハプロセスを使い，数百μｍ角程度のＳｉチップとして大量に作り，これを大型の基板に規則正しく配置してＳｉのスイッチ・アレイを形成する。大型ガラス基板上にＴＦＴを形成するための高価な真空装置や露光装置が不要となるので，安く作れる可能性がある。このようなアイデアを実現するための基礎技術を，北陸先端科学技術大…