Ｒｅｐｏｒｔ［ＭＥＭＳ］〜１２０ｎｍピッチの凹凸を大面積に形成し 液晶パネル向け偏光フィルムを実現
日経マイクロデバイス 第246号 2005.12.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第246号（2005.12.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全2611字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （236kb） |
| 雑誌掲載位置 | 156〜157ページ目 |
最先端のＬＳＩ配線より細かい１２０ｎｍピッチの凹凸を，大面積のフィルム上に形成できる微細加工技術を旭化成が開発した（図１）。まずは，液晶パネル向けの偏光フィルムの製造に応用していく。すでに１０ｃｍ角の偏光フィルムを試作できており，２００６年下期にはＡ４サイズのサンプルを供給できるという。この１０月に開かれた「ＦＰＤ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ ２００５」で試作品を初公開したところ，「大きな反響が…
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