Ｒｅｐｏｒｔ［ＭＥＭＳ］〜ＭＥＭＳの大量生産体制に向け 高速の製造装置・テスターが続出
日経マイクロデバイス 第246号 2005.12.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第246号（2005.12.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全2743字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （274kb） |
| 雑誌掲載位置 | 154〜155ページ目 |
ＭＥＭＳデバイスの製造・設計インフラ整備が，急速に進展してきた。２００５年１１月に開催の「第１６回マイクロマシン展」では，低コストかつ高スループットでＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）デバイスを大量生産できる製造装置や測定装置が相次いで登場した（図１）。複数チャンバのエッチャ ＭＥＭＳデバイス向け製造装置では，量産対応のために処理速度を高速化したエッチン…
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