Ｃｏｖｅｒ　Ｓｔｏｒｙ　Ｐａｒｔ２　インタビュー集〜●東京エレクトロン　ラインでの診断データを　装置の信頼性向上に活用
日経マイクロデバイス　第246号　2005.12.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第246号（2005.12.1）
ページ数	1ページ　（全831字）
形式	PDFファイル形式　（726kb）
雑誌掲載位置	125ページ目

石川　陽一　氏執行役員　コーポレートマーケティング担当　兼　マーケティング部長　２００５年は，二つの既存分野で事業を拡大できた。　第１に，洗浄装置のシェアを２１％に伸ばした。これによって，これまで最大手以外はシェアが同程度だったが，単独２位の座を獲得できた。洗浄工程別に用意したモジュールを組み合わせるわれわれの方式が，広く受け入れられている。第２に，これまで大型バッチ炉に比べて売上高に占める割合の…