Ｃｏｖｅｒ　Ｓｔｏｒｙ　Ｐａｒｔ２　囲み　液浸　ＶＳ．　ＥＶＵ，次のＬＳＩ設計・製造戦略〜日本市場攻略が課題のＡＳＭＬ　参入障壁は予想以上に高い？
日経マイクロデバイス　第246号　2005.12.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第246号（2005.12.1）
ページ数	1ページ　（全936字）
形式	PDFファイル形式　（726kb）
雑誌掲載位置	123ページ目

　オランダＡＳＭ　Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ社（ＡＳＭＬ）は，Ｅｒｉｃ　Ｍｅｕｒｉｃｅ氏が社長に就任した２００４年１０月以降，日本に攻勢をかけている。露光装置で５０％を超える市場シェアを持つ同社にとって，世界の半導体設備投資の２０％を占める日本はきわめて重要な市場である。　松下電器産業とソニーは，２００４年に大手ＬＳＩメーカーとして初めてＡＳＭＬを採用した１）。さらに２００５年１０月，日本で５番目のユ…