Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ 多層構造のデバイスを観測可能〜コンフォーカル顕微鏡「ＯＰＴＥＬＩＣＳ Ｓ１３０」
日経マイクロデバイス 第245号 2005.11.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第245号（2005.11.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全603字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （301kb） |
| 雑誌掲載位置 | 107ページ目 |
試料の材質や構造に合わせて，紫（４０５ｎｍ），青（４３６ｎｍ），緑（５４６ｎｍ），黄（５７７ｎｍ），赤（６３０ｎｍ）の５種類の波長から任意の波長を選択して観察できる共焦点型の顕微鏡（図１）。ＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）デバイスや，フレキシブル基板，液晶パネル，インクジェット・プリンタのヘッドなど，多層構造を持つデバイスを３次元的に観察できる。具体的…
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